新能源清潔車間

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159一、詳細介紹

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461591.光伏新能源硅晶片簡介

光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一個像鏡子一樣明亮的圓片，是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的原材料。目前，微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術(shù)已進入0.18微米以下的時代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數(shù)的要求。因此，光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂觀。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461591.1 光伏新能源硅晶片的生產(chǎn)工藝

從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長-單晶棒切割檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢測-蝕刻(化學(xué)蝕刻)LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋-洗滌-質(zhì)量檢驗-清潔包裝 從單晶棒生長到外徑磨削到硅單晶棒生產(chǎn)工藝，切片后的工藝為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝。以硅片廠為例，介紹了空調(diào)凈化系統(tǒng)和自動控制系統(tǒng)的設(shè)計方案。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461591.2 各生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求

硅片廠生產(chǎn)4~6寸光伏新能源硅晶片，產(chǎn)量480萬片/年。本公司光伏新能源硅晶片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461592.空調(diào)凈化系統(tǒng)

空調(diào)凈化的設(shè)計與工藝布局和生產(chǎn)工藝緊密結(jié)合。不同類型和用途的工廠空調(diào)凈化系統(tǒng)各有特點。以下是光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461592.1 空調(diào)系統(tǒng)

1 切片室、倒角室、研磨室只有溫度控制要求，有風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)(PAC)為了保證房間的溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，連接風(fēng)管，采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式；室外機放在屋頂上。切割室排氣量大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵屋頂空調(diào)S1-1和S1-2補充。車間有防塵要求，中效空氣過濾器設(shè)置在風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)回風(fēng)口(大氣塵計數(shù)效率:≥60%，對于≥1μm顆粒)，同一屋頂空調(diào)需要兩級過濾器。

原理圖見圖：




2 爐室、BSD室內(nèi)只有溫度控制要求，有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)(PAL)為了保證房間的溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，連接風(fēng)管，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式；室外機放置在屋頂上。新鮮空氣由相鄰的潔凈室正壓。車間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)出風(fēng)口設(shè)置中效過濾器（大氣塵計數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子)。

3 磨片檢查室對溫濕度控制有要求，配有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)(PAL)為保證室內(nèi)溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，連接風(fēng)管，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式；室外機放置在屋頂上。新風(fēng)通過新風(fēng)機組(MAU-1、2）處理后，將送風(fēng)管送至室內(nèi)，相對濕度由新風(fēng)機組保證。新風(fēng)機組與凈化系統(tǒng)共用。車間有防塵要求。風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)回風(fēng)口設(shè)有中效過濾器（大氣粉塵計數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm顆粒)，新風(fēng)機組內(nèi)設(shè)置粗、中效過濾器。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461592.2 凈化系統(tǒng)

新風(fēng)空調(diào)機組用于光伏新能源凈化工程系統(tǒng)(MAU)循環(huán)空調(diào)機組(AHU)的冷媒采用6-11℃冷凍水用0加熱.2MPa蒸汽，加濕0.1MPa清潔蒸汽加濕，清潔蒸汽由純水通過清潔蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

1 CP室內(nèi)凈化等級為7級，通風(fēng)次數(shù)為30次/小時，CP室內(nèi)工藝設(shè)備酸量大，采用全新風(fēng)空調(diào)機組(MAU-3) 高效過濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調(diào)方式。氣流流程為：新風(fēng)入口-粗過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效過濾器送風(fēng)-清潔區(qū)。

2 ML室內(nèi)凈化水平為7級，通風(fēng)次數(shù)為30次/小時，采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過濾器送風(fēng)口(HEPABOX)空調(diào)方式。新風(fēng)與其他系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

3 CP/CVD室、LP/CVD潔凈包裝室凈化水平為6 級，換氣次數(shù)取為50次/小時，采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調(diào)方式。新風(fēng)與其他系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

4 7級、6 一級無塵室采用的氣流形式是頂部高效過濾器出風(fēng)口，房間側(cè)下百葉窗出風(fēng)口回風(fēng)。氣流過程為：新回風(fēng)混合！中效空氣過濾器-表面冷卻器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效空氣過濾器出風(fēng)口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉窗出風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。

5 質(zhì)量檢驗室的凈化水平為7 采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 風(fēng)機過濾單元(FFU))空調(diào)方式。頂部采用氣流形式FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、質(zhì)量檢驗室對NH4 、SQx循環(huán)機組需要濃度(AHU)增加化學(xué)過濾器。5級凈化室的氣流過程為：新回風(fēng)混合化學(xué)過濾器(NH4 )-化學(xué)過濾器(SQx)-中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機過濾單元(FFU)-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉窗回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)與其他系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

6 除CP室外潔凈室所需新風(fēng)采用2臺新風(fēng)機組(MAU-1.2)集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機組(AHU)。氣流流程為：新風(fēng)入口-粗過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-循環(huán)空調(diào)機組(AHU)。

7 CP室、ML房間和洗凈室的酸度相對較高，CP室、ML室內(nèi)高效過濾器出風(fēng)口的擴散板采用不銹鋼板制成，室內(nèi)清洗FFU網(wǎng)板由不銹鋼板制成。

8 需要注意的是，質(zhì)量檢驗室根據(jù)工藝要求采用黑色墻板、黑色頂板，相應(yīng)采用黑色回風(fēng)口，F(xiàn)FU網(wǎng)板需要黑色網(wǎng)板。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461593、凈化系統(tǒng)的空調(diào)自動控制

新風(fēng)機組(MAU-1.2)變頻器由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器控制。接入每個風(fēng)量和正壓控制循環(huán)機組(AHU)電動調(diào)節(jié)閥設(shè)置在新風(fēng)管上，電動調(diào)節(jié)閥的開度由每個潔凈室的正壓值調(diào)節(jié)，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排氣量而變化。電動調(diào)節(jié)閥的開度變化導(dǎo)致總送風(fēng)管上的靜壓變化，并根據(jù)其設(shè)定值進行調(diào)節(jié)AHU-1、2風(fēng)扇頻率，以達到控制的目的。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461593.1 凈化車間/無塵車間的溫濕度控制

無塵車間的濕度由新風(fēng)機組凈化生產(chǎn)MAU-1.2確?？刂菩嘛L(fēng)機組的送風(fēng)狀態(tài)點，據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值調(diào)整干蒸汽加濕器電動執(zhí)行機構(gòu)和表面冷卻器和加熱器回水管上電動二通閥的開度。露點溫度DPT檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)固定。無塵車間的凈化生產(chǎn)溫度由循環(huán)機組決定AHU表冷器回水管上的電動二通閥開度應(yīng)根據(jù)室內(nèi)溫度進行調(diào)整。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461593.2 冷卻系統(tǒng)控制

冷凍水系統(tǒng)采用一級泵，通過負載控制確定冷卻機組及相應(yīng)水泵和冷卻塔的開啟臺數(shù)。供水和回水壓差根據(jù)設(shè)定供水和回水壓差自動控制，回水主管之間的壓差流量旁路閥。


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亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159二、過濾效率：

大氣塵計數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子)

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159三、產(chǎn)品特點：

目前，微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術(shù)已進入0.18微米以下的時代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數(shù)的要求。


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亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159四、應(yīng)用場所：

食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、物理化學(xué)實驗室、血站、細菌學(xué)、生物學(xué)、清潔實驗室、物理工程（基因重組、疫苗制備）等行業(yè)。

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